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真空L型傳輸閘板閥

  • 真空度:高真空

    漏率: 1E-9 mbar l/s, He

    使用壽命: 100萬次(依制程而有些許改變)

    鋁合金或SUS閥體可供選擇。波紋管密封和無波紋管。

    應用于真空環境,傳輸物品之閘門

    特色

    - L-Motion,不同于單軸單向的閘板閥,作動采用

    特殊開關方式,L-Motion Lock 可將閥門關閉位置固定。

    - 方便安裝與維修

    - 閘板更換成本較低


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